陽極酸化皮膜の厚さ1μm！ 耐食性と封孔度に優れており質量減はない！ アルマイト皮膜より耐プラズマ性が1.3倍向上！
『ヤギマイト加工』とは、アルマイト皮膜の最表面に厚さ1μm程の新たな 層を形成することで超耐食性を確保する弊社の特許技術です。 耐アルカリ性に優れており、従来の約5倍の耐食性。 またエッチング深さは、従来品より加速電圧1.5KVの場合10.6％減少しており、 さらに2.0KVの場合12.0％、2.5KVの場合21.2％減少していた。このことから ヤギマイトは従来品よりも耐プラズマ性に優れています。 また、半導体製造装置へのアルマイト加工において、 ヤギマイトは塩素系ガスを使用するエッチング装置のチャンバーに使用されます。 ヤギマイトは耐久性を向上させるので、コストの削減、 内部の腐食を軽減、パーティクル発生の抑制に威力を発揮します。
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基本情報
【特長】 ■微細孔内部及び上層1μm厚に、水和酸化物層が生成されている ■耐アルカリ性に優れており、従来の約5倍の耐食性 ■封孔度に優れており、質量減はない ■従来のアルマイト皮膜より耐プラズマ性が1.3倍向上 ■耐久性の向上 ■コスト削減 ■内部の腐食を減少 ■発生するパーティクルの抑制
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用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
中国電化工業株式会社は、山口から未来のテクノロジーに挑戦するグローバルカンパニーです。 アルマイトを始めとする金属表面処理を行っています。 独自の技術で、半導体製造装置に使用されるアルミニウムへの表面処理を得意としています。 常にカーボンニュートラルを意識し、汚染防止に最善を尽くし、地球環境の保護・保全に努めています。