質量減がない！ 耐久性の向上、コスト削減と内部の腐食を減少！発生するパーティクルが抑えられます！
当社は、『半導体ヤギマイト加工』を行っております。 「ヤギマイト」は、塩素系ガスを使用するエッチング装置のチャンバーに 使用することで、耐久性の向上からのコスト削減と内部の腐食を減少させ、 発生するパーティクルが抑えられます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■耐久性の向上 ■コスト削減 ■内部の腐食を減少 ■発生するパーティクルが抑えられる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ヤギマイト加工 特長】 ■微細孔内部及び上層1μm厚に、水和酸化物層が生成されている ■耐アルカリ性に優れており、従来の約5倍の耐食性 ■封孔度に優れており、質量減はない ■従来のアルマイト皮膜より耐プラズマ性が1.3倍向上
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用途／実績例
■ 半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
中国電化工業株式会社は、山口から未来のテクノロジーに挑戦するグローバルカンパニーです。 アルマイトを始めとする金属表面処理を行っています。 独自の技術で、半導体製造装置に使用されるアルミニウムへの表面処理を得意としています。 常にカーボンニュートラルを意識し、汚染防止に最善を尽くし、地球環境の保護・保全に努めています。