残留水素でお悩みの方に！
0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。 マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプおよび、 114タイプをご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGを初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ■ ピル NEG を使った低ガス放出 NEG ポンプ ■ NEG をポンプケーシングの壁面に配置 ■ 超低ガス放出 0.2% BeCu 合金製ポンプケーシング ■ 実効排気速度を 10-10Pa 台まで拡張 ■ CO に対する排気速度が大きい（H2 とほぼ同等） ■ 省電力活性、動作時→無振動、無荷電粒子、無電力 ■ SUS 製 ICF070 & 114 フランジに対応 ■ 取り付け方向自由
価格帯
納期
用途／実績例
■極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させたい方 ■残留水素ガスの除去にお悩みの方 ■ターボ分子ポンプ(開放系) や小型イオンポンプ（封止切系）の補助ポンプと して。 ■排気時間短縮をお考えの方（大気圧から排気を開始して24h以内に10-10Pa 台のXHV を発生させることができます。 ）
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。
