触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向け！統合されたガス分配システム
当社では、触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向けにホットワイヤーソースを 提供しています。 インラインおよびダイナミック製膜プロセスには特殊な直線形エネルギー源が 利用可能。 特殊設計のソースフランジ、すばやく取り付けができるワイヤーコンポーネント によって構成されており、必要に応じて、単にユニット毎に交換することで、 このワイヤーコンポーネントダウンタイムを短縮できます。 【特長】 ■無機（例えばSiH4）および有機（例えばCxHy、プラスチックモノマーの 前駆体が使用可能 ■統合されたガス分配システム ■連続的なシート、キャリア、またはロール・ツー・ロールプロセス ■自由な運転姿勢：上向き（制限付き）、下向き（制限付き）、垂直 ■プロセス要求に応じたワイヤー間隔に調整可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【メリット(抜粋)】 ■短時間で交換後、プロセス再起動できるよう、個別ワイヤーが取り付けられた分割ソース設計 ■真空フランジは蓋またはドアから外さず作業可能 ■ワイヤーは通電の有無を選択できるので、製膜装置の生産稼働時間延長に役立つ ■プラズマ不使用プロセス：イオン衝撃や、磁場で加速された電子がないため、薄膜内部 応力が低い、滑らかでコンフォーマルな膜を製膜 ■本質的に異物発生無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■ガス分配システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
