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リニアイオンソース『LION』

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最終更新日:2023年02月21日

フォンアルデンヌジャパン株式会社
フォンアルデンヌジャパン株式会社
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頑丈でスケーリング可能な設計!高エネルギーで強く集束されたビーム

『LION』は前処理と表面改質に適したコンポーネントです。 アルゴン処理で炭化水素を除去し、必要なら酸素追加が可能。イオンビームは 強く収束され、高エネルギー化しています。 物理的エッチングを必要とするインライン製膜システムに理想的なデバイスで、 シンプルで頑丈な設計のため、イオンソーズは容易にスケールアップ可能。 メインアプリケーションは、大面積ガラス製膜と金属箔製膜です。 【特長】 ■アルゴン処理で炭化水素を除去し、必要なら酸素追加が可能 ■仰角調節可能な外付けバージョン、フランジ取付けバージョン提供可能 ■頑丈でスケーリング可能な設計 ■高エネルギーで強く集束されたビーム ■様々な種類の基板材料の前処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    電子ビーム描画装置
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リニアイオンソース『LION』

2023-02-20_11h55_32.png
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【メリット】 ■最高で4週間のキャンペーン時間 ■優れたエッチング均一性 ■簡単なカスタマイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■前処理と表面改質に適したコンポーネント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。

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