真空紫外線を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解！ppbオーダーのTOCを低減
半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、超純水中の有機物 (TOC) 濃度に対する要求値も厳しくなっています。 『FOVシリーズ』は高出力低圧水銀ランプから発生する真空紫外線 (185nm) を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解。ppbオーダーのTOCを低減 させるのに適しています。 また、縦型設計ですので設置スペースが限られた場所でもご使用いただけます。 【仕様（一部）】 ■入力電圧：AC100V-AC200V（50/60Hz）から選択可能 ■警報出力：ランプ切無電圧接点標準装備 ■制御盤材質：SS ■制御盤塗料色：マンセル 2.5Y 9/1 ■シリンダ材質：SUS316 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の仕様（一部）】 ■シリンダ内面仕上：#400バフ研磨、電解研磨 ■シリンダ外面仕上：電解研磨 ■最大使用圧力：1.0MPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■半導体産業 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社は、国内でいちはやく紫外線殺菌装置の有用性を認識し、 従来の加熱や薬品処理では不可能であった分野における新しい殺菌手段 として、水の紫外線殺菌装置を開発して以来長年、お客様のご要望に お応えできる製品の開発に努めております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。