【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
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基本情報
【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm ■最大動作速度 ・X1,A-axis：1800mm/sec ・θ-axis：360°/sec ・Z-axis：500mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量：0.5kg/arm (including E/E, E/E-base, Wafer） ■本体質量：32kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ダイヘンは1919年の創立以来､変圧器､溶接機､産業用ロボット､半導体製造装置用高周波電源など､社会が必要とする製品の開発に取り組み､くらしの基盤となる電力インフラの高度化や世界のものづくりの進化･発展に貢献してまいりました。 そして今､新たなステップとして､社会課題に真正面から向き合う｢研究開発型企業｣を目指しております。再生可能エネルギーの活用拡大に資するエネルギー･マネジメント･システムやEV普及に不可欠な充電インフラ機器､車体軽量化に役立つ新しい接合プロセスなどの開発により脱炭素社会実現に貢献する“Green Solutions”､また､｢労働力不足解消｣や｢働き手や働き方の多様化｣などへの貢献を目指し､ものづくりに携わるお客様が持つそれぞれの事情に合わせ､いわば“個別にあつらえた”ロボットシステムにより最適な課題解決手段を提供する“Tailored Solutions”､ これらの分野を重点と定め開発強化を図り、当社独自の価値を持つ製品を次々と市場に投入することで､これまで以上にお客様に喜んでいただき世の中のお役に立つ会社を目指してまいります。
