ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 【ガラス状カーボン共通の特徴】 ・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能) ・高耐熱性、X線高透過性 【ガラス状カーボンビーズの特徴】 ・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能 ・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い ・気孔のない緻密な等方性組織 ・中心粒径100μm、200μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
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基本情報
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズもございます。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
価格帯
納期
用途／実績例
【主な用途】 ・プラズマエッチング、CVD装置用部材 ・スパッタリングターゲット ・高純度耐薬品性部材 ・分析装置用部材 ・X線機器用部材 ・造孔材(ガラス状カーボンビーズ) ・フィラー(ガラス状カーボンビーズ)
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企業情報
1930年（昭和5年）に輸出入の専門商社として発足し2020年で創立90周年を迎え、渡辺商行グループの更なる発展に全力で取り組んでいるところでございます。 1960年代半ばより、半導体業界に対しケイ素(Si)関連製品を販売する方針のもと、石英加工品、シリコーンゴム成形品、洗浄装置などの自社製品を製造販売を開始いたしました。 モノづくり商社として、質の高い製品・サービスを提供することにより、IT社会の成長とともに成長してまいりました。 今後とも株式会社渡辺商行を中核とするグループ各社の社員が、毎日活き活きと働き、職場全体が学びの組織となる会社づくりを目指します。 そして、社会の真のニーズに応える強い意志を持ってこれからも日々あらゆる事業に邁進していく所存です。 今後とも益々のご支援とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。
