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アプリケーション『半導体製造装置』

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最終更新日:2023年04月19日

株式会社ハイラックス電機
株式会社ハイラックス電機
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様々な加熱に対応し、ピーク波長が1μm!半導体プロセス加熱などにご活用いただけます

株式会社ハイラックス電機は、工業用・産業用ハロゲンランプヒーター・ カーボンランプヒーターのカスタム製造・販売を行っております。 『ハロゲンランプヒーター』は、電力に対する熱損失が少なく、とても 効率の高いヒーター(熱源)です。また立ち上がり・立ち下がりの 応答性能も非常に高く瞬時加熱を得意としております。 直線タイプや丸型、異形状など様々な形状へのアレンジもできますので、 まずはお気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■近赤外:約1μm ■色温度:約2500K ■寿命:約5000h ■クリーン ■即応答:約1~2秒 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    加熱装置
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アプリケーション『半導体製造装置』

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基本情報

【仕様(一部)】 ■発熱体:タングステン ■色温度:約2450K ■寿命:約5000時間 ■電力密度:フィラメントのピッチ調整により、高密度化可能 ■封入ガス:ハロゲンガス ■指向性:ミラーやレンズによる集光・散光が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■半導体プロセス加熱 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社は、各種ランプおよびランプ用材料などの光をベースにした製品を 取り扱う企業として創立致しました。 お客様のさまざまなご要望に迅速かつ柔軟に対応できる体制を整え、 主に工業用・産業用ハロゲンランプヒーターやカーボンランプヒーターの カスタム製造・販売を行っております。

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