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技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

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最終更新日:2025年03月24日

株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。

【要旨】 シリカ表面にはシラノール基と呼ばれる水酸基が結合したケイ素(Si-OH)が存在しており、撥水、親水といった物理的特性の大きな一因を担っている。また、シランカップリング剤を結合させることで表面の化学的特性を改良し、樹脂充填材として汎用されている。したがって、このシリカ表面シラノール基は、シリカ単体の性質に留まらず、材料全体の性能を左右する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.原理 3.シリカ粒子の反応性シラノール基の定量 4.シリコンウエハの表面シラノール基の定量 5.シラノール基量の加熱による変化 6.まとめ

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技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

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基本情報

技術情報誌The TRC News「シリカ表面のシラノール基の定量」 【要旨】 シリカ表面にはシラノール基と呼ばれる水酸基が結合したケイ素(Si-OH)が存在しており、撥水、親水といった物理的特性の大きな一因を担っている。また、シランカップリング剤を結合させることで表面の化学的特性を改良し、樹脂充填材として汎用されている。したがって、このシリカ表面シラノール基は、シリカ単体の性質に留まらず、材料全体の性能を左右する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.原理 3.シリカ粒子の反応性シラノール基の定量 4.シリコンウエハの表面シラノール基の定量 5.シラノール基量の加熱による変化 6.まとめ 【図表】 図1~4 表1~6 反応性シラノール基密度 シリカケイ素の構造 固体29Si NMRスペクトル 反応性・非反応性シラノール基密度 シラン処理シリコンウエハのXPSスペクトル シリコンウエハのシラノール基比率 加熱シリカ粒子のシラノールシラノール基密度 加熱シリコンウエハのシラノール基比率

価格情報

2,200円(税込)

価格帯

~ 1万円

納期

即日

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用途/実績例

https://www.toray-research.co.jp/service/trcnews/をご覧下さい

企業情報

株式会社東レリサーチセンター

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株式会社東レリサーチセンターでは、受託分析を通じて、研究開発や生産分野における様々な課題に対して、分析技術や物性解析による技術支援を行っております。分析・物性評価の長年の実績と豊富な経験に基づき、高度で広範囲にわたるお客様のご要望にお応えできるよう努力を続けております。

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