優れた機械的耐久性！幅広く使える金属製のプレート型高温ヒータ
『プレートヒータ』は、金属製の熱板にサーモコアックス社製のシースヒータ を埋め込み、最高800℃まで昇温を可能にした製品です。 加熱がステンレス、インコネル、アルミ等のプレート上で行われるため、 石英ガラスやカーボンを使用したヒータと比べて加熱時に圧力を加える などの耐久性を要するシーンに好適。 また、熱板内部に埋め込まれたヒータ線と電源を接続する電極部は、 大気中で使用できるよう絶縁されたスリーブ端子のモデルや、 真空チャンバー内向けのCP端子モデルなど、ご使用環境に合わせた バリエーションをご用意しています。 【特長】 ■優れた機械的耐久性 ■柔軟な設計に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様】 ■最高使用温度：真空中700℃／その他800℃ ■加熱有効エリア：Φ50～Φ220mm（それ以上の場合もご相談ください） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■薄膜装置（CVD／スパッタリング）への組み込み ■半導体製造装置（基板加熱／フラッシュアニールなど）への組み込み ■その他多目的に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社では、800℃から2,500℃を超える超高温領域で使用されるヒーターの 製造を得意としています。 新素材の研究開発、レンズや半導体の製造、原子力や航空宇宙分野といった 極限環境に至るまで、様々なフィールドでご活用いただいております。 これからも、私たちの知見を最大限に活かし、お客様のニーズに適した製品を ご提案して参ります。