薄膜装置や半導体製造装置への組み込みに！1200℃以上の昇温可能な面状ヒータ
『面状加熱CCヒータ』は、熱源にC／Cコンポジット（炭素－炭素複合材）を 使用した薄型でコンパクトな製品です。 C／Cコンポジットを使用することで、シースヒータを用いた プレートヒータでは実現が困難な高い温度まで昇温することが可能。 また、ヒータ上部に設置したサセプタ上で加熱するため、均等に 加熱することができ、大気中では400℃以下、真空中や不活性ガス 雰囲気下であれば1200℃以上の昇温を行うことができます。 【特長】 ■サセプタによる均熱性 ■高温加熱の実現 ■C／Cコンポジット素材採用によるメリット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■最高使用温度：1200℃～ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■薄膜装置（CVD／スパッタリング）への組み込み ■半導体製造装置（基板加熱／フラッシュアニールなど）への組み込み ■その他カーボン材が使用可能な環境において多目的に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、800℃から2,500℃を超える超高温領域で使用されるヒーターの 製造を得意としています。 新素材の研究開発、レンズや半導体の製造、原子力や航空宇宙分野といった 極限環境に至るまで、様々なフィールドでご活用いただいております。 これからも、私たちの知見を最大限に活かし、お客様のニーズに適した製品を ご提案して参ります。
