放電の停止による制御出力の誤動作をなくした安全な設計!複合型広帯域真空計のご紹介
『水晶・ペニング冷陰極真空計』は、大気圧から超高真空までを一つの ゲージヘッド・コントローラーで測定可能です。 水晶振動子の共振抵抗値が気体の摩擦による抗力が、圧力とともに 変化することを利用した水晶真空計と、磁場中の冷陰極放電電流が 圧力にほぼ比例することを利用したベニング真空計を一つのゲージヘッド、 一つのコントローラに組込んでいます。 高い圧力での電極の汚染が少なく、また放電の停止による制御出力の 誤動作をなくした、高信頼性でかつ安全な設計になっています。 【特長】 ■大気圧から超高真空までを一つのゲージヘッド・コントローラーで測定可能 ■ぺニング真空計部、高電圧は2.5x10^-2Torr以下で印加されるため、 高い圧力での電極の汚染が少ない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品仕様(一部)】 ■測定範囲:760~1×10^-8Torr ■真空度表示:アナログ ANALOG ■外部出力:0~10V ■測定用ケーブル:3m/Max100m ■入力電力:AC 100V±10% ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
バキュームプロダクツは真空システム、真空コンポ―ネントの設計・製造いたします。真空システムは成膜装置(PLD、スパッタ、CVD、多元蒸着装置など)、加速器周辺機器(レンズ、デフレクター、ゴニオメーターなど)や低速陽電子ビーム装置などの研究分野から、産業分野では成膜装置の「大面積化」をテーマに各種処理装置を開発し商品化いたしました。真空コンポーネントでは、新たに自社オリジナル商品のクリスタル真空計の技術をベースに2成分混合気体濃度測定装置を開発し、第一段として小型オゾン濃度計として販売する予定です。