真空システム、真空コンポ―ネントのことならお任せください。

バキュームプロダクツは真空システム、真空コンポ―ネントの設計・製造いたします。真空システムは成膜装置（PLD、スパッタ、CVD、多元蒸着装置など）、加速器周辺機器（レンズ、デフレクター、ゴニオメーターなど）や低速陽電子ビーム装置などの研究分野から、産業分野では成膜装置の「大面積化」をテーマに各種処理装置を開発し商品化いたしました。真空コンポーネントでは、新たに自社オリジナル商品のクリスタル真空計の技術をベースに2成分混合気体濃度測定装置を開発し、第一段として小型オゾン濃度計として販売する予定です。