圧力単位はPa、Torr、mbarの中から任意に選択！広範囲の圧力測定が可能
『クリスタルゲージ』は、1つのゲージヘッドで8桁の圧力測定が可能です。 表示部は液晶表現を採用、圧力はデジタル(仮数部3桁、指数部1桁)と アナログ(30セグメント棒グラフ)を同時表示。 また、温度補償、アナログ出力の選択、校正、気体単位の選択、 セットポイント、リークテスト及びセンサー温度表示等の機能は フロントパネルからアクセス可能です。 【特長】 ■1つのゲージヘッドで0.01x10^-1～1.33x10^5Paの8桁の圧力測定が可能 ■マイクロプロセッサにより校正曲線を算出、各種気体の圧力を直読可能 ■2つの不揮発性セットポイントを標準装備(オプションで6点まで可能) ■リークテスト機能により1x10^-5atm・cc/sec以上のリークを検出 ■ゲージヘッドは小型・軽量で取付位置の制限なし ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■使用可能温度：5～50℃ ■セットポイント：2接点出力 ■測定ガス：N2/O2/Ar/Air ■入力電源：100±10V(50/60Hz) ■質量：180g(sensor head)/1.7kg(control unit) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
バキュームプロダクツは真空システム、真空コンポ―ネントの設計・製造いたします。真空システムは成膜装置（PLD、スパッタ、CVD、多元蒸着装置など）、加速器周辺機器（レンズ、デフレクター、ゴニオメーターなど）や低速陽電子ビーム装置などの研究分野から、産業分野では成膜装置の「大面積化」をテーマに各種処理装置を開発し商品化いたしました。真空コンポーネントでは、新たに自社オリジナル商品のクリスタル真空計の技術をベースに2成分混合気体濃度測定装置を開発し、第一段として小型オゾン濃度計として販売する予定です。
