ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■AS310S(流量制御 3方弁) ・定格圧力：600kPa ・定格流量：200NL/min ・定格電流：1.0A ■AS311S(流量制御 5方弁) ・定格圧力：600kPa ・定格流量：200NL/min ・定格電流：1.5A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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企業情報
当社は高精密空気圧サーボ機器の研究、開発、設計、製造、販売を行っている企業です。 微細制御が至難とされる空気を動力源として高精密な空気圧サーボ制御を実現しています。 空気圧製品は主に除振台や位置決めステージ等の半導体製造装置や鉄道車両に、 一部取り扱いのある油圧製品は試験機や一般産機、ロボット等に採用され活躍しています。 製造している油空圧のサーボ弁、シリンダ、アンプ、コントローラー等は 既存ラインナップの他、お客様のニーズに応じた開発も承っており 上記製品を組合せた一括システムとしてもご提案可能です。 培ってきたノウハウを生かし、お客様のご要望をいち早く実現します。 これからも空気圧サーボのプロフェッショナル集団を目指して日々邁進いたします。 ぜひお気軽にお問い合わせください。
