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『AS110シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁です。 主力製品であるAS110シリーズは除振台等に採用され微細制御を行っています。 装置の小型化やクリーンな環境でご使用したい方におススメのバルブです！ 【動作原理】 トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造となっており フレキシブル管に支持されています。 コイルに電流を印可すると上下磁極との磁気的関係により 電流の極性と大きさに応じたトルクが発生しアマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化する ことによって空気圧を制御しています。 【特長】 ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ノズルフラッパ型サーボ弁『AS121-108』は、電気－機械変換部に トルクモータを用い、可変抵抗（ノズルフラッパ）と固定抵抗 （スリット絞り）で構成された低ノイズ型4方弁です。 トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造となっており、 フレキシブル管に支持されています。 スリット絞りは、可変絞りであるノズルとペアで流路を構成。 縮流絞りである通常のオリフィスに対して、スリット絞りは中心から 外周へのスリットにより拡張流れとし、入口より出口の流れを減速しています。 出口部での音速流れを減じることによって安定した絞りとなり、 制御圧力のノイズを小さくしています。 【仕様】 ■定格圧力：550kPa ■定格流量：25NL/min ■定格電流：100mA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
『AS3x3Sシリーズ』は、電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを 用いたスプール型3方弁です。 フォースモータ（VCM）とスプールは一体構造となっており、 入力電流に応じた推力がスプールを変位させます。 スプールが変位することで負荷圧力が上昇します。 また、速度検出器が設置されており速度信号をフィードバックすることで 高い安全性を確保しています。 【特長】 ■圧力制御 ■大流量 ■摺動部分がなく長寿命 ■高い分解能・ヒステリシス ■少ない内部リーク ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
『AS3x0Sシリーズ』は、電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを 用いたスプール型3方弁です。 フォースモータ（VCM）とスプールは一体構造で 入力電流に応じた推力がスプールを変位させます。 スプールが変位することで開口面積が増加し、流量が上昇します。 スプールはアナログ変位センサ（LVDT）で位置決めされます。 スプールには空圧静圧軸受が設けられており 高い分解能を有しております。 主に半導体製造装置に内蔵され、精密な制御を行っています！ 【特長】 ■変位制御 ■大流量 ■摺動部がなく長寿命 ■高い分解能・ヒステリシス ■少ない内部リーク ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
当社で開発・製造を行う「高精密空気圧サーボ機器」の主な使用事例をご紹介します。 微細制御が至難とされている空気圧において当社は高精密サーボ制御を実現しており クリーンであることや圧縮性があることなど空気圧のメリットを生かした製品開発を行っています。 社内の製造工場ではコアな精密部品の加工を行い、手作業で丁寧に製品を組み立てています。 製品は主に微細制御が必要な“半導体製造設備”に組み込まれており、売上全体の半分以上を占めます。 次に多い“鉄道車両”では車体の振動を抑制する動揺防止シリンダや振子制御シリンダなど 鉄道車両の快適な乗り心地に貢献しています。 当製品は他にも様々な場面で活用できます。お気軽にご相談ください。 【主な用途先】 ■半導体製造設備 ・位置制御や振動除去に利用（精密位置決めステージや除振台等） ・微細制御が必要な装置に組み込まれています ■鉄道車両 ・空気ばね車体傾斜車両の流量比例弁による高速化を実現 ・走行時の振動を抑制し、鉄道車両の快適な乗り心地に寄与 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『AS100シリーズ』は、電気－機械変換部にトルクモータを用いた ノズルフラッパ型サーボ弁です。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の 極性と大きさに応じたトルクが発生し、アマチュアを傾けます。 また、ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており、 フラッパの動きに応じて供給側と排気側のノズル部開口が変化することに よって空気圧を制御しています。 小さな弁なため装置全体の小型化に貢献可能です。 ロボット、アニマトロニクス向けにもおススメできます。 【特長】 ■高速応答(400Hz 以上) ■低駆動電流 ■高い分解能・低いヒステリシス ■摺動部分がなく長寿命 ■小型・軽量・小流量制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社のサーボアンプ『CA250シリーズ』のご紹介です。 空気圧サーボ弁を好適な状態で使用していただくために開発されました。 それぞれのサーボ弁に適した調整を行いご提供いたします。 調整不足による制御不良や、調整過多による破損など、 厄介な問題を起こすことなく、ご購入後すぐにサーボ弁を使用可能です！ 【特徴】 ■ノズルフラッパ弁用、カフィードバック方式2段型サーボ弁用、VCM直動サーボ弁用として使用可能 ■簡易的な制御系を構成できる ■SN比の高いアンプ ■アンプへの供給電源は+24Vに統一 ■アンプは個々のサーボ弁の挙動が好適になるように調整 ■最小限の機能で高い性能が出せるよう、外観もコンパクトに設計 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
当社の主力製品『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』のご紹介です。 比較的小さな流量を高応答で制御できる小型・軽量なサーボ弁です。 トルクモータの可動部であるアマチュアはフラッパと一体構造でフレキシブル管に支持されており コイルに電流を印可すると、トルクが発生しアマチュアを傾けます。 ノズルとフラッパの間はあらかじめギャップが設けられており フラッパの動きに応じてノズル部開口が変化することで空気圧を制御しています。 詳しくは「【技術レポート】ノズルフラッパ弁による制御」をご覧ください。 当レポートはノズルフラッパ弁の基本的な特長や構造、制御の実例をご紹介しております。 空気の流れを基に2方弁、3 方弁、4 方弁に分類できますが 当レポートでは3方弁及び4方弁を取り上げております。 ※空気圧サーボ弁を最適な状態でご使用いただくため開発された適合サーボアンプ「CA250 シリーズ」もございます。 30mA 駆動用アンプにセンサアンプ(LVDT、歪圧力センサ)とプリアンプを構成したことにより簡易的な制御系を構築できるようになりました。 ご不明点はお気軽にお問い合わせください。
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『カフィードバック型空気圧サーボ弁』は、前段部でパワーを 増幅することにより小型化を実現しました。 精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁により高速応答が可能。 メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁が特長です。 定格圧力600kPa、定格電流30mAとなっております。ご用命の際は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■メカニカルフィードバックを持った2段型サーボ弁 ■精密に加工された静圧軸受を備えた軽量案内弁より高速応答を実現 ■前段部でパワーを増幅することにより小型化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う『試験機用空気圧サーボシリンダ』をご紹介します。 静圧軸受により可動部を支持し、デジタルアブソリュートセンサにも 対応可能(分解能0.5μm)。アルミ素材による軽量化と硬質表面処理による 高い耐久性を有します。 卓上でも試験のできる利便性の良い小型試験機を開発中です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■静圧軸受による可動部の支持 ■デジタルアブソリュートセンサにも対応可能(分解能0.5μm) ■アルミ素材による軽量化と硬質表面処理による高い耐久性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う『特殊サーボ弁・特殊アクチュエータ』について ご紹介いたします。 精密なフォースモータによって大型のノズルを連続して開閉し、 出力流量を制御する「ゼロラップ3方弁(低圧・大流量)」や 直線運動と回転運動を組み合わせて制御できる「複合シリンダ」 などをラインアップ。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■圧力制御弁 丸基板付き ■ゼロラップ3方弁(低圧・大流量) ■複合シリンダ ■ナノジャッキ ■精密圧力レギュレータ ■パラレルリンク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う『電機サーボ』をご紹介いたします。 「EA001-001」は、VCM駆動により電流に比例した推力が発生。 測定子変位量をLVDTにて読込みます。 また、測定子には静圧軸受を採用しており、微小荷重の ばね試験が可能です。 この他、「ヴォイスコイルモータ」もご用意しております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ヴォイスコイルモータ仕様】 ■推力：10～50N ■ストローク：MAX±5mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う『油圧サーボ弁・油圧シリンダ』をご紹介いたします。 「カフィードバック型 油圧サーボ4方弁」は、 前段増幅部でパワーを増幅することにより小型化を実現し、 試験機やロボット業界で活躍しています。 高い耐コンタミ性を持った「VCM駆動 油圧サーボ5方弁」は 一般産機に採用されています。 その他ボディにチタン合金を使用した「油圧シリンダ」もご用意しております。 【特長】 ＜VCM駆動 油圧サーボ5方弁＞ ■HS721 ・VCM駆動による大きなストローク(±1.5mm) ・差動変圧器(LVDT)による位置決め制御 ■HS722 ・高速VCM駆動による高速応答 ・大型案内弁による大流量を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う『鉄道車両製品』をご紹介いたします。 主に新幹線や観光特急に搭載され、 ⾞体の左右振動を抑制する空気圧フルアクティブサスペンションや 空気ばね⾞体傾斜⾞両の高速化を実現する流量⽐例弁など 鉄道車両の乗り心地向上に貢献する製品を製造しています。 【ラインアップ】 ■流量制御弁 ■圧力制御弁 ■動揺防止シリンダ ■振子制御シリンダ ■振子抑制シリンダ ■高さ調整弁アクティブLV ■可変絞り ■センタリングシリンダ
『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁 AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行う際に最適で 「安定・自在・精密」を兼ね備えた とても使い勝手の良い新製品です。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化 ・精密な連続圧力制御が可能 ・遠隔操作が可能 ・オプションの表示器で圧力をリアルタイムで表示 ※表示器無しの場合は設定ボックスもご用意ございます。 ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることも可能です。 当社ではブースタにフェアチャイルド社製のモデル20を用いており、 このブースタのパイロット圧力を内蔵のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁によって 精密に制御することで高応答、高分解能、そして大容量の圧力制御弁を実現します。 ・電気信号に比例してパイロット部の出力圧力を制御 ・制御基板はシンプルな回路構成により高いゲインで安定した制御を実現 ・圧力センサはパイロットの出力圧力を検知し、アンプ基板にフィードバック ご不明点等ございましたらお気軽にお問い合わせください。
PSCのサーボアンプCA250シリーズの後継品としてCA350シリーズを開発しました。 CA250シリーズに比べてよりコンパクトな仕上がりになっています。 『CA350-011シリーズ』は、直動型（VCM駆動）サーボ弁駆動用サーボアンプです。 ■特徴 ・コンパクトかつ軽量 ・指令入力電圧に比例しサーボ弁のスプール位置を変位制御 ・出力はPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能 ・サーボ弁のスプール部のLVDTセンサによる変位信号を 電圧値でフィードバックすることで高精度な制御を実現 ・指令信号の入力には、パネル部BNC端子かモニタ用D-sub端子かを選択可能 ・モニタ出力にはD-sub端子を用い、変位モニタ値、電流モニタ値を電圧相当値で出力 ・外部に接続したスイッチを用いることで、出力を直接オン／オフできる
