リアルタイムでの薄膜組成の情報を得ることが可能!プロセスモニタリングのための診断ツール
『Low Angle X-ray Spectroscopy(LAXS)』は、低角度X線分光法です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの薄膜組成の情報を 得ることができます。 【特長】 ■RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの 薄膜組成の情報を得ることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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弊社ホームページでFPD・半導体関連の中古設備情報を掲載しています。 ●主な業務内容 半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 半導体製造ラインの構築及びコンサルタント FPD製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 FPD製造ラインの構築及びコンサルタント 半導体製造設備及びFPD製造設備の受託開発・製造・販売 各種装置部品の販売 海外製製造装置の代理店販売