平面でレジストを露光！パターンが微細になるほど光回折によりパターンが乱れます
当社で取り扱うPET/PVA二層フィルム『SOシート』の導入事例として、 「三次元リソグラフィ加工技術」についてご紹介いたします。 “高低差220μmの平凸レンズへの微細加工”をはじめ、“凹型金型への 微細加工”や“金属ロールへの抗菌パターン作製およびフィルムへの転写” といった例が挙げられます。 詳しい内容は、関連カタログよりご覧ください。 【三次元リソグラフィ加工技術例】 ■高低差220μmの平凸レンズへの微細加工 ■凹型金型への微細加工 ■金属ロールへの抗菌パターン作製およびフィルムへの転写 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【概要】 ■パターンが微細になるほど光回折によりパターンが乱れる （スピナーで均一なレジスト成膜が難しい、露光時のギャップが均一ではない） ↓ ■フォトレジスト：レジスト材料を成膜、平面でレジストを露光、潜像パターン付きシート ↓ ■曲面基板へ貼り付け・PET剥離、PVA水解・レジスト現像 ↓ ■エッチング、デポジション、ドーピング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社アイセロは、防錆フィルム、水溶性フィルム、クリーン容器など汎用プラスチックに独自技術を加えた機能性フィルムと容器の技術開発型メーカーです。気化性防錆フィルムをはじめ、高純度薬品用ブロー容器やクリーンバッグなど、様々な製品を取り扱っております。各種フィルムのことなら当社にお任せ下さい。