バブリング・スプレー方式で国内外で1000台以上の納入実績あり！ 信頼性の高い室内設置の大容量除害スクラバーです。
国内外で1000台以上の納入実績あり！！東設は屋内タイプ大流量スクラバーにおいては信頼性の高い最有力なメーカーです。 ■特徴１：最大流量60m3/min 20m3/min以上の室内使用の大型SCRの納入実績：約100台以上。 ■特徴２：耐食性ファンによる腐食防止 特にファンインペラー部にはガスのシールと腐食防止対策。 ■特徴３：セントラルスクラバーの引き圧カバー ファンの使用によりセントラルスクラバーに引き圧が低い場合でも使用可能。 ■特徴４：ガス種により材質変更可能 有機系のガスにはSUS、無機系のガスにはPVCを使用。
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基本情報
従来のバブリング・シャワータイプで、小～大流量ガス除害(最大~60m3/min)に最適です。対象ガスはCl2, HF, HCl, HNO3, NH4, CVD燃焼排ガス, 有機・無機系ガスでNaOH薬液供給も可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
■用途： ・ウェット洗浄装置、ウェットエッチング装置、燃焼除害装置の後段、CVD、エピタキシャル成長、シリンダーキャビネットの装置から出るガス除害。緊急除害装置としても使用可能 ・最大ガス流量：~60m3/min ■対象ガス： Cl2、HF、HCl、HNO3、NH4、CVD燃焼排ガス、有機・無機系ガス
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企業情報
東設は半導体、電子デバイス、液晶メーカー向けに「自動電解/無電解めっき装置」、「排ガス除害装置」、「ウェットプロセス装置」、「脱気システム」をメインとした装置をご提供している開発型装置ベンチャーです。設計開発、製造販売だけでなく、プロセスサポート&コンサルティング、デモ・試作・受託加工・保守改造サービスも行っています。自由な発想を愛するベンチャー東設へのコンタクトをお待ちしています。