ＥＤＳ（ＥＤＸ）・ＥＰＭＡ・ＸＭＡ用導電処理・ＦＩＢ用保護膜作成・カーボン補強などが可能です。
VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火傷する心配はありません。 省スペース、低価格を実現。
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基本情報
試料室サイズ＝内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。 試料台サイズ＝直径100mm、蒸発源に対し30mm上下可能。 蒸発源と試料台の間隔＝45mm～75mm間に任意調節可能。 蒸着電源＝OUTGAS、EVAPOの２段階、最適電圧にプリセット。 ロータリポンプ＝50 ℓ/min。 RP単体到達真空度１．０Pa。 装置到達真空度＝2Pa(1.5×10-2Torr)以下。 真空度監視＝ピラニゲージにて0.1Pa(7.5×10-4Torr)まで指示。 装置サイズ＝幅255mm×奥行き375mm×高さ430mm。 ロータリポンプ床置き型。（ＳＵＳ製フレキシブルホース１ｍ付属） 電源＝単層AC100V,15A アース線付３芯プラグ使用。 安全対策：電極通電を真空排気中のみに制限、系統別サーキットプロテクタ。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
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企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。
