刮目せよ 「Cyber」と「T-Rex」の融合 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現
『Cyrex』は、砥石1ステージ＋研磨、琢磨ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。 各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。 様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。 【特長】 ○設計の自由度が高いPLC制御を採用 ○各工程にヘッドが搭載で生産性が大幅にアップ 〇ホルダストックもコンベア式or積み上げ式で選択可能 ○3~6連式にて選択可能な大型研磨機 ○大量の試料ホルダーのストックが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【本体仕様】 ○電源：三相200-220V 50/60Hz ○エアー：0.5～0.7MPa（フィルター、レギュレター付） ○水：0.2～0.4MPa 20L/min以下 ○砥石回転速度：800～1700rpm（可変） ○砥石径：φ355mm ○研磨テーブル径：φ310mm ※最大φ350mmまで対応可 ○研磨テーブル回転速：60～350rpm（1rpm単位で可変） ○試料ホルダー径：φ160～200mm ※特殊形状のホルダーにも対応可 ○試料ホルダー回転速度：60～200rpm（1rpm単位で可変） ○加圧力：60～600N（1N単位で可変） ○研磨条件メモリー数：28通り（PLC制御） ○装置外寸/重量：W6325×D1545×H1900mm, 約5000kg (6連式) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○顕微鏡での試料観察用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
当社は設立以降半導体、液晶の業界で精密研磨メーカーとして技術、ノウハウを蓄積して参りました。 そのノウハウを生かし、 金属の精密研磨はもちろんのこと半導体ウェーハ研磨や化合物半導体研磨、半導体、液晶パネル、シャフト研磨、試料研磨等の業界に精密研磨装置を供給しております。 日本製だからこそ和歌山県製だからこその痒いところに手が届く仕様 設計・電気・資材・製作・営業全てを自社で行うからこそ特注仕様にも柔軟に対応しております。 また制御部門では自社装置に限らず、お客様既設装置のメンテナンスや設備改修、PLCリプレースなど、装置開発で培った技術を提供します。自社設計の装置メーカー/分野にとらわれることなくお客様第一主義をモットーに精進しております。 研磨で困ったらまずIMTにお声がけください。