ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg
『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：クリーンルーム内(大気中温度10～35度、湿度70％RH以下) ■アーム：シングルアーム(材質：アルミ・CFRP・セラミック) ■可搬質量：3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【標準仕様(抜粋)】 ■被搬送物：～300mmウェーハ(その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応いたします) ■ウェーハ保持方式：真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド ■機械構造形式：水平多関節型・円筒座標系 ■制御軸：4軸 ■モータタイプ：ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ仕様 ■重量 ・本体重量：約47kg ・コントローラ：約5kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。 PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。