オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を行うシステム
本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2の キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。 【各部仕様(抜粋)】 ■ステージ1(ローダー) ・装置正面左側ステージ ・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) ・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他各部仕様(抜粋)】 ■ステージ2(アンローダー) ・装置正面右側ステージ ・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) ・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。 PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。