ダイシングフレームサイズ200mm・300mm。タクトタイム・搬送時間は180秒/13枚以下
『PCT2022』は、所定のカセットに収納された200mm・300mm用 ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるウェーハカセット チェンジャーです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセット。 各カセットは作業者がステージに供給します。 ご用命の際は当社へお気軽にご相談ください。 【装置仕様(抜粋)】 ■ダイシングフレーム ・サイズ200mm/300mm ・厚さ：1.22±0.08mm ■キャリア ・標準カセット(6枚入カセット・13枚入カセット) ・フレーム収納ピッチ(15mm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。 PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。