高感度と高精度を両立可能なトンネル磁気抵抗型磁気センサ(TMRセンサ)
ホール素子を始めとして、多くの磁気センサが高度IoT社会の実現のために幅広く利用されている。中でも、東北大学で発見されたトンネル磁気抵抗効果を利用したセンサ(TMRセンサ)の高感度化が飛躍的に進んでおり、生体磁場などの微弱な磁場が検出可能になっている。 しかし、従来のTMRセンサでは、高感度と高精度を両立することが難しかった。 本発明により、利用する強磁性材料の高次の磁気異方性を制御することで、高感度、かつ、高精度を実現するために必要な、出力の線形 性が極めて高いTMRセンサを提供することができる。
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