ねじり疲労に強いトーションバーを実現！真空封止不要・長寿命・低コストなマイクロスキャナ
LiDAR(Light Detection and Ranging)等の小型化等を図るために開発が進められているマイクロスキャナは、ミラー部とそれを支持するトーションバーとを有し、レーザ光を2次元走査するMEMSデバイスである。従来、トーションバーの表面に水分/酸素が付着することにより水酸化/酸化が進むため短時間で破断してしまうという問題があった。また、トーションバーの表面に一般的な保護膜を形成しても水分や酸素の付着を完全に防ぐことはできず、トーションバーの劣化を抑えることはできないという課題があり、実用的な寿命を得るためにはミラーデバイスの真空封止が必要とされていた。本発明によって、大気中で、トーションバーの酸化や水酸化を防止し、トーションバーの劣化を抑制可能な、走査ミラー、および、走査ミラーの製造方法を提供することが可能になった。本発明は、ミラー部と、表面がALD(Atomic Layer Deposition) 層で覆われたトーションバーとを有していることを特徴とする。
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