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【課題解決事例】激しい振動による回転ゆるみとガスによる錆びの防止

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最終更新日:2024年05月09日

池田金属工業株式会社
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インコネル製ロックリコイルで省スペース下の回転ゆるみ対策を提案した事例

半導体製造装置メーカーへ『インコネルロックリコイル』を提案した 事例をご紹介いたします。 研磨工程で支えていたウエハーが落下して割れてしまい、さらに部品を 回収したところ、めねじに挿入しているワイヤーインサートに錆が 発生していました。 提案後、施策を経て量産採用され、数年経過しましたが、いまだ ゆるみや錆は発生しておりません。 【事例概要】 ■課題 ・研磨工程で支えていたウエハーが落下して割れてしまった ・めねじに挿入しているワイヤーインサートに錆が発生していた ■課題解決の要件 ・回転ゆるみに対して効果的な対策であること ・耐薬品性に優れた材質であること ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【課題解決事例】半導体製造装置メーカー<設計・開発>.PNG

【課題解決事例】激しい振動による回転ゆるみとガスによる錆びの防止

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【ユーザーメリット】 ■回転ゆるみが解消された ■ガスによる錆の問題が解消された ■締結スペース及びコンタミの問題をクリアできた ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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