液晶業界で200台以上の実績！クリーンルーム用に開発したバクテリア除去装置です。
本装置は、クリーンルーム内の純水を使用する製造ラインにおけるバクテリアを確実に除去することができ、歩留まり向上、メンテナンス性の向上に貢献します。 Ozone(O3)・紫外線(UV)光触媒を同時利用し、 促進酸化処理(AOP)により菌や有機物を分解。 薬液除菌と違い耐性菌を発生させません。 【特長】 ■バクテリアを短時間で除去 ■耐性菌を発生させない ■強力な除菌性能によりバイオフィルムまで除去 ■PM時の薬液洗浄不要 ■薬液購入/回収/装置停止不要 ■循環する複数タンクの下流側に設置することで上流タンクにも効果を発揮
この製品へのお問い合わせ
基本情報
※お気軽にお問い合わせ下さい。
用途／実績例
【実績】 ■レジスト塗布前洗浄 ■成膜前洗浄 ■剥離後水洗 ■現像後水洗 ※お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
SCREENグループは創立 80 周年を迎えました。 1943年の設立以来、皆さまから多くのご支援を賜り、 2023年10月11日、SCREENグループは80周年を迎えました。 心から感謝申し上げます。 創造と発展に挑み続ける精神を胸に、これからも進化し続けてまいります。