高精度な塗布均一性を実現！複数品種の塗布が可能な2ノズル仕様も選択可能
『マルチコータ LC-Mシリーズ』は、ナノレベルの薄膜から厚膜まで 各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能な スリット式塗布装置です。 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、 LD/ULDとのインターフェースに対応。 各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、 実験・少量生産に好適です。 【特長】 ■各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能 ■高精度な塗布均一性を実現 ■段取り替え不要 ■多種多様の配管系統を準備でき、ご要望の膜厚・均一性を実現 ■全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【基本仕様】 ■塗布/塗工方式：スリットコータ(ダイコータ) ■対応薬液 ・感光材料(レジスト) ・感光性絶縁膜 ・PI(ポリイミド) ・ペロブスカイト ・インク ・各種コーティング材料 ■対応基材：ガラス、樹脂基板、フィルム、金属箔 ■対応基材サイズ：W300 x L300mm以上 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
SCREENグループは創立 80 周年を迎えました。 1943年の設立以来、皆さまから多くのご支援を賜り、 2023年10月11日、SCREENグループは80周年を迎えました。 心から感謝申し上げます。 創造と発展に挑み続ける精神を胸に、これからも進化し続けてまいります。