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薄膜/厚膜対応スリット式塗布装置『マルチコータLC-Mシリーズ』

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マルチコータ LC-Mシリーズ

最終更新日:2023年11月30日

株式会社SCREENファインテックソリューションズ
株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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高精度な塗布均一性を実現!複数品種の塗布が可能な2ノズル仕様も選択可能

『マルチコータ LC-Mシリーズ』は、ナノレベルの薄膜から厚膜まで 各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能な スリット式塗布装置です。 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、 LD/ULDとのインターフェースに対応。 各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、 実験・少量生産に好適です。 【特長】 ■各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能 ■高精度な塗布均一性を実現 ■段取り替え不要 ■多種多様の配管系統を準備でき、ご要望の膜厚・均一性を実現 ■全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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薄膜/厚膜対応スリット式塗布装置『マルチコータLC-Mシリーズ』

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基本情報

【基本仕様】 ■塗布/塗工方式:スリットコータ(ダイコータ) ■対応薬液 ・感光材料(レジスト) ・感光性絶縁膜 ・PI(ポリイミド) ・ペロブスカイト ・インク ・各種コーティング材料 ■対応基材:ガラス、樹脂基板、フィルム、金属箔 ■対応基材サイズ:W300 x L300mm以上 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社SCREENファインテックソリューションズ

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