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最終更新日:2024年03月22日

サーフ工業株式会社
サーフ工業株式会社
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薬液や腐食性ガスから基材を守り、洗浄性や付着防止など様々な装置に!

弊社のフッ素樹脂コーティングは耐薬品性やパーティクル低減、洗浄性、撥水性 金属イオン防止、耐火防火性、延焼防止など、幅広い用途でご利用いただけます。 フッ素樹脂の特性である非粘着性・離型性・撥水性によってコーティングの 表面は水や油をはじき、ほとんどの物質が固着しない膜を形成。 洗浄時間の短縮・洗浄液の削減・金属イオン溶出防止・残留物の混入などの対策に効果的です。 【メリット】 ■生産性の向上 ■製品の品質向上 ■メンテナンスの時間と費用の削減 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    コーティング剤
非粘着性・離型性.jpg

フッ素樹脂コーティング【半導体製造装置向け】

非粘着性・離型性.jpg
非粘着性・離型性.jpg
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基本情報

薄膜コーティング0.01μm~50μm:撥水撥油性、非粘着性、滑り性などを必要とする各種機器向けに。 厚膜コーティング300~1500μm:強酸、強アルカリによる耐食性を必要とする各種機器向けにピンホーレスの被膜が保護します。

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用途/実績例

【実績例】 FM認証ダクト配管 CMP研磨装置 フォトレジスト製造タンク 超純水製造装置 ウェーハ搬送キャリア ウェーハ洗浄チャンバー ステッパー各種部品 吸着プレートほか

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厚膜耐食ライニング フッ素樹脂焼付ライニング

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フッ素樹脂コーティング『TCシリーズ』

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表面処理は一般に素材表面の性質を高めるために行われる機械工作法の一種ですが、当社では各種コーティングを柱に、研磨、メッキ、熱処理、溶射、蒸着、広い視野で、さまざまなテーマに挑戦します。

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