固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。
表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li～Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。
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基本情報
真空下で試料に電子線を照射し、励起した電子（オージェ電子）の分析を行います。オージェ電子は元素固有の運動エネルギーを有しているため、オージェ電子のエネルギーを測定することで、元素の種類を特定できます。オージェ電子は数ｎｍの深さからのみ発生するため、極表層の分析が可能です。
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用途／実績例
材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析
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企業情報
大同分析リサーチは、あらゆる材料分野で蓄積してきた信頼性の高い分析・解析技術と、広範囲な業界のお客様からいただいた課題をもとに、先進シンクタンクの構築を進めてまいりました。お客様の種々な課題に対し、最少費用と最短納期で問題解決を図ります。今後も最新鋭の設備と高度なマンパワーを駆使してお客様の研究開発を支援し、未来を豊かに彩る製品づくりのお手伝いをさせていただきたいと考えています。
