CKDコラム：活性炭フィルタでシロキサンとオゾンにバイバイ

基本情報

製品に関しては、CKDホームページもしくはカタログダウンロードください。

価格帯

納期

用途／実績例

半導体製造工程（後工程） 実装

詳細情報

• 

  ■シロキサンによる不具合とは？ 低分子のシロキサンは沸点が低くガス化しやすい性質を持っているため、 シロキサンが付着すると、熱や物理的なエネルギーが加わり化学変化して「二酸化ケイ素（SiO ）」が 形成され不具合を起こします。二酸化ケイ素はガラスの成分と同じなので電気を通さないため、 電気接点やモータ、センサなどの導通不良を引き起こすことがあります。 また、発生したシロキサンにより光学系レンズが曇ることもあります。

• 

  ■シロキサンを吸着して除去する シロキサンを除去する方法はいくつかあり、そのひとつに活性炭などの吸着材を 利用したケミカルフィルタがあります。ケミカルフィルタはクリーンルームなどの空調設備や、 分析装置用のガス精製において使用されています。しかし、高精度にシロキサンを除去できる分 高額でメンテナンスも大変です。CKDのシロキサンリムーバ SFXシリーズは、 製造工程に使用される圧縮エアラインにシロキサン除去フィルタを組み込むことで 手軽に99％以上の除去が可能です。活性炭の吸着剤 の表面にある細孔に化学物質などを 吸着させて除去します。

• 

  ■使用方法 除去率が99%程度で問題なければ、圧縮空気の供給前に設置することでシロキサンを除去できます。 圧縮空気の調質 のためにすでにフィルタを導入されているお客様も、そのままモジュール接続できます。 また、ケミカルフィルタを導入されている場合は、ケミカルフィルタの手前に設置し、 プレフィルタとしてお使いいただくことも可能です。 これによって高額なケミカルフィルタの延命につながると考えています。

• 

  ■オゾンを分解して除去 空気には、約20％ の酸素が含まれているので、紫外線や放電があるとオゾンが発生します。 製造現場では、コンプレッサはオイルフリー化が進み、圧縮空気中のオゾン分解が低下しオゾン濃度が上昇する傾向にあり、さらにはエア配管内での静電気や放電によるオゾン発生も考えられます。空気圧機器に用いられるゴムは、一般に耐油性・耐摩耗性が高いことからNBRが採用されていますが、NBR は分子構造上オゾンによりクラックが発生することがあり、ゴムが劣化しエア漏れや動作不良につながります。 SFXシリーズなら！ 活性炭に含まれる炭素とオゾンが化学反応して二酸化炭素と酸素に分解することができます。 ”配管近くで放電するような場所”ではオゾンが発生しやすいので、 SFXシリーズを使って分解しゴムの劣化を防止しましょう。 ※シロキサン吸着とオゾン分解を一度にすることはできません。