シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例をご紹介
半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持し、ストッカー部 のみ取出し可能とする構造にすること、掃除用マドを配置し掃除しやすく したいとのご要望がありました。 既存機の改造で小型化、軽量化を実現し、要望にお応えしました。 【事例概要】 ■課題 ・ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持する ・ストッカー部のみ取出し可能とする構造にする ・掃除用マドを配置し掃除しやすくする ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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株式会社西野製作所では、人工知能搭載ピッチングマシン「Pitch18」・各種木工機械・粉塵自動圧縮機「APOLLO40」・折れタップ除去用放電加工機「タップナイト」等の製造販売を行っております。 また、工作機械・産業機械・環境機械・食品機械等の本機ＯＥＭ生産も行っております。 高い精度が要求される機械もお任せください！ 開発から資材調達・加工・組立・品質保証まで一貫した生産体制と 大型マシニングセンタなどの充実した社内設備でお客様のご要望に お応えします。 図面を丸投げしていただければ、完成品まで仕上げます！ また、設計からの仕事も承ります！