チャンバー引き出しタイプにつきメンテナンスが容易
『4段乾燥炉チャンバータイプ』は、FPD基板上に印刷された塗膜を 基盤表面に(反塗布面側)より、加熱することでガラス基板を加熱 乾燥させる製品です。 基盤受渡しはピン昇降を使用、サーボモーター制御で3段階の 高さ調整が可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■温度性能:室温〜150度(ガラス表面温度) ■温度精度:表面温度±3度以内 ■方式:マイカヒーター・分割制御 ■ヒーター出力:AC220V 1φ 3kw ■電力:AC/380/50Hz 3φ 20KVA ■圧縮空気:0.5Mpa 100L/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【用途】 ■半導体製造装置関連、FPD製造装置関連 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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