幅広い用途に期待!お客様の用途、スペックに合わせて供給いたします
当社では「サファイアウェハー」の製造販売を行っております。 モース硬度9を持ち、石英以上の高融解点(2.053℃)と耐プラズマ特性、 さらに光学的・化学的・電気的にも優れた特性を併せ持つ製品。 キロプロス、CZ、HEM他、各種製法のインゴット及びウェハーを、 お客様の用途、スペックに合わせて供給いたします。 【仕様(一部)】 <2インチ> ■材質:>99.996%高純度アルミナ ■品質:欠陥フリー(No Crakes,Pores,Scratches,Inclusions,Twins) ■直径:50.8±0.1mm ■厚さ:430±15um ■結品方位:C-plain(0001)±0.25° ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の仕様】 <2インチ> ■1次オリフラ長さ:16.0±0.8mm ■1次オリフラ方位:A-plain(11-20)±0.2° ■TTV:10um以下 ■LTV:10um以下 ■TIR:10um以下 ■BOW:10um以下 ■Wrap:10um以下 ■表面仕上げ:Epi-ready(Ra<0.2nm) ■裏面仕上げ:研削仕上げ(Ra=0.5~1.2nm) ■洗浄・梱包:クラス100クリーンルーム内にて真空・窒素封入梱包 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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エムシーオー株式会社は、1994年の創業以来シリコンウェハーの製造・ 販売及び各種シリコンや金属水晶などの薄膜成膜加工、石英加工、 ICファンダリの販売を行っております。 豊富なラインアップでお客様のご要望にお応えします。