Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っております。
i線ステッパーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、 化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。 弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・CDSEMを備えたデモ環境を整えております。 【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ ウェハサイズ変更 ■ レチクルサイズ変更 ■ レチクルチェンジャータイプ変更 ■ チャンバー冷媒改造 【部品販売】 【部品修理】 ■ 基盤類修理 【定期メンテナンス】 【移設業務】 ■ 構内移設 ■ 工場移設 【トラブル対応】
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基本情報
【仕様】 ■ FPA3000iw 6” 〇 8” 〇 解像度 0.8μm 倍率 1/2 NA 1/2 ■ FPA3000iw 4” 〇 5” 〇 6” 〇 8” 〇 解像度 0.35μm 倍率 1/5 NA 0.45~0.63 ■ FPA3000i5 4” 〇 5” 〇 6” 〇 8” 〇 解像度 0.35μm 倍率 1/5 NA 0.45~0.63 ■ FPA3000i5+ 4” 〇 5” 〇 6” 〇 8” 〇 解像度 0.35μm 倍率 1/5 NA 0.45~0.63
価格帯
納期
※仕様によって納期が変動致しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
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企業情報
半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品も提供。また、過剰装置の買取お及び移設・撤去も対応可能です。スタッフが在住しているため、アジアを中心とした海外でのサポートもご相談ください。経験を駆使して、お客様の生産業務を総合的にサポートいたします。