ALD研究およびとバッチ生産向けのプラットフォーム
『Beneq TFS 500』は、薄膜成膜用途での様々な使用に適し、 マルチ・プロジェクト環境に好適なツールです。 手動操作のロードロックを搭載して、ウェハ処理能力を高めることが可能。 異なる種類の反応チャンバを真空チャンバ内部に取り付けることができ、 お客様の用途に合わせて各反応チャンバを最適化することができます。 また、工業的信頼性に関する厳しい要件と、R＆D業務の柔軟性へのニーズの両方を 満たすことが可能。プロセス構成部品はスペア・パーツの可用性が確保されます。 【取扱製品・サービス】 ■3Dおよびバッチ生産 ■研究設備 ■コーティングサービス ■研究開発サービス ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社はフィンランドに本社を持つ、ALD装置のプロバイダです。 生産や研究用途向けに高品質のツールを開発し、また工業用ALDソリューションを通じて技術面において大きな潮流を生み出すことを使命としています。 当社の製品は、マルチ・ユーザの研究環境においてクロスコンタミを最小限に抑えるよう設計されてきました。最も厳しい研究要件に対し様々なオプションとアップグレードをご提供します。