1台のシステムで最大3種類のガス(NH3、HF、HCI)を監視することが可能！
『SAM-S』は、空洞リングダウン分光(CRDS)分析装置を 高性能サンプリングシステムに統合したAMCモニタリング装置です。 高流量のガス流量を可能にし、クロスポートの汚染を最小限に抑え、 正確なAMC濃度を迅速に報告。 また、最大16の異なる場所をサンプリングできるように構成することができ、 PicarroのSI3401ガス・アナライザーと組み合わせて、アンモニア(NH3)、 フッ化水素(HF)、塩化水素(HCl)を測定することができます。 【特長】 ■インラインAMC監視システム ■pptレベルでのNH3、HF、HClの測定 ■秒オーダーの応答時間 ■最小限のセットアップ時間 ■クリーンルーム内の複数の場所を監視 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ■キーボードを内蔵した産業用コンピュータを搭載 ■セキュアなソフトウェアと通信 ■プログラムされたクリーニングサイクル ■クロスポート汚染を最小限に抑えるための定期的なポートパージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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新品、中古装置含め、検査・分析装置は各種取り扱いがあります。（全自動XPS膜厚濃度測定装置、重ね合わせ精度測定装置、両面座標測定装置、膜厚測定装置、エリプソメーター、光学式三次元測定装置、ウェーハエッジ検査装置、透明ウェーハ表裏欠陥検査装置、外観検査装置、実体顕微鏡、露光装置）