激化する競争に勝つ！ローコストでハイパフォーマンスマシンをご紹介
『OVS-5120シリーズ』は、ロードポートから供給されたウエハを XYθステージにセットし、高速高解像度カラーエリアカメラで、 致命欠陥検出を行うウェハ外観検査装置です。 不良品に良品を入れず、特殊照明とソフトウェアで安定した不良検出。 また、ロット間バラツキ吸収ソフトウェアで、独自の学習ソフトを 搭載しております。 【特長】 ■驚異の検出力 ■再現性 ■現場に強い対応力 ■誰でも簡単レシピ ■ローコスト/ハイパフォーマンスマシン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様】 ■対象製品：システムLSI、フラッシュメモリー、CMOSデバイス他 ■ウェハサイズ：12インチ ■欠陥項目：パターン欠陥、スクラッチ、色むら、異物他 ■カメラ：400万画素、カラー ■照明：同軸落射照明、斜光リング照明 ■検査倍率：2.5、5、10倍(アクティブオートフォーカス付) ■分解能：1.1μm/pixel(5倍) ■処理能力：約2.5分/(12インチ)、2.2分解能 ■オプション：インカー、通信仕様 ■装置サイズ：W1,600×D2,500×H1,800mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
オカノ電機は創業以来「技術の力で顧客の期待に応える」という理念を掲げ、 お客様とともに歩んでまいりました。 今後もお客様のニーズに的確に応え常に高品質な製品を提供することを目指し、 さらなる技術力の向上に努めてまいります。また、顧客の発展に寄与することで 社会貢献することを使命として取り組みを進めてまいります。 オカノ電機は100年企業を目指し、次の50年も躍進し続けます。
