重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
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基本情報
【主な超音波】 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 ■EDGEモータ（小型軽量） 最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
価格情報
カスタム製品のため都度お見積りとなります。 また標準ステージの組み合わせによる多軸ステージも可能です。
納期
用途／実績例
【代表的なステージ試作・開発事例（国内外）】 ○低軌道衛星向けレーザー通信用多軸プラットフォーム ○原子力間顕微鏡用ステージ ○放射光施設での精密回転ステージ ○イオンビーム（FIB）検査用4軸(X-Y-Z-T)ステージ ○半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ ○細胞イメージング用5軸低速モーションステージ ○SWaPを考慮したオートフォーカス・モジュール ○ドローン用搭載カメラ用ミニチュア・ジンバル ○ウェハ検査用レンズの駆動モジュール
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企業情報
サーボ制御が得意な工苑。 ○油圧サーボ制御では、制御装置の設計や製造、制御ソフトを作成し、協力会社との連携で最適な油圧ユニットと油圧シリンダの設計・製作も行なっています。油圧サーボ弁などの選定も行っています。 ○超音波モータによる高速移動と高精度位置決め ○サーボモータ用ドライバによるロボットや無人搬送車での活用 ○受託開発による建設機械のコントローラや制御装置 ○産学連携による油圧ロボット製作、2軸または6軸モーションベースの設計・製作など動くものを作っています。
