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【導入事例】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM

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最終更新日:2025年08月28日

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最大200nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応!分析能力も強化

広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できる 「FE-SEM」を導入した事例をご紹介いたします。 表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩な イメージング能力を装備。 複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより 短い時間で多くの情報を得られるようになりました。 【事例概要(抜粋)】 ■導入製品:HITACHI製SU7000 ・電子源:ZrO/Wショットキータイプエミッター ・二次電子分解能:0.8nm(加速電圧 15kV)、0.9 nm(加速電圧 1kV) ・加速電圧:0.1~30kV ・倍率:20~2,000,000倍(装置スペック) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【導入事例】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM

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【導入事例】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM1.PNG
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設立から今日まで、不良ゼロの実現を目指す現場の声に応えるために、信頼性試験・不良解析・再現実験と同時に、現場改善などの問題に取り組んでまいりました。 また、従来の基板や実装問題だけにとどまらず、現在では製品全般の品質保証、工場内部の検査工程や海外部品調達をはじめ、国内外の工場調査・工場改善までトータルにサポートしております。 私たちクオルテックが目指すのは、お客様にとって最良のビジネスパートナーになることです。

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