ダイヤフラムの嵌め合い部分が存在しない！フラッシング時間低減が見込めます
『MODEL KSFV-100 SERIES』は、特殊溶着構造を用いたダイヤフラム式 バルブです。 ダイヤフラム周縁部とバルブブロック上端面とが溶着されて一体化しており、 隙間も段差もなく、コンタミネーションの残留がありません。 半導体洗浄装置等、清浄度を要求されるプロセスで使用可能です。 また、半導体洗浄装置等の清浄度を要求されるプロセスに向けて クリーンコントロールシステム「Puras SERIES」を開発しております。 詳細はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し、リークの懸念も不要 ■H2O換算で数mL/minからの精密な流量制御が可能 ■流量の精密制御とシャットオフの二つの役割を兼ね備える ■接流体部PTFE ■流量範囲(H₂O) 0～500mL/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【標準仕様(一部)】 ■対象流体：純水、薬液、腐蝕性ガス等 ■流量範囲(H2O)：0～500mL/min ■動作差圧：0.05～0.3MPa ■入口最大圧：0.3MPa(G) ■耐圧：1MPa(G) ■流体温度：25℃ ±5℃ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の 微少量流域を主とした計測・制御技術を探求すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、 人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。