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【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

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最終更新日:2025年05月19日

株式会社ウェーブフロント 本社
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真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能!

当社が自社開発した3次元希薄気体解析用のソフトウェア 『DSMC-Neutrals』では、真空装置の排気シミュレーションが可能です。 種々の物理量の計算結果の図示や、過渡的なグラフをプロットすることにより 排気システムの設計・開発において実験だけでは得ることが大変な様々な 情報を簡単に見える化できます。 詳しくは、以下のURLをご覧ください。

    真空ポンプ
シャワーヘッド型CVD.png

【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

シャワーヘッド型CVD.png
シャワーヘッド型CVD.png 装置内の流速.png 排気曲線.png 複雑な配管の排気.png
  • 関連リンク - https://www.wavefront.co.jp/CAE/dsmc-neutrals/exam…
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/wavefront/product/

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基本情報

【計算可能な事例(抜粋)】 ■シャワーヘッド型熱CVD(化学気相成長) ■真空蒸着 ■分子線エピタキシー(MBE) ■真空ポンプの排気 ■ダストの挙動シミュレーション ■極超音速希薄流 【特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェア ■真空チャンバーを用いる実験や装置開発に使用可能 ■CVDのような化学反応を含む成膜速度、成膜分布のシミュレーションも可能 ■非構造メッシュを採用しているので、実際の装置の形状そのままを、計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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当社は、各種プラント、工場等の設備・資産を管理・運営するための「設備保全 管理システム」を開発・販売しています。 現在、このシステムは、センサー情報やタブレット端末からの入力情報等のIoT 技術および機械学習等のAI技術を利用した故障予知機能や自動スケジューリング機能を有するシステムへと大きく進化する 過程にあります。 また、最近のDXの流れの一環で、工場の製造プロセスおよび研究開発の現場での デジタル化・自動化を行い現場の作業を効率化しようという流れが強まっています。 当社もこの流れの中で、研究開発の現場の効率化を目指すソルーションであるラ ボ管理システムLIMS(Laboratory Information Management System、ワークフローとデータ追跡・データ管理・データ分析・および電子実験ノート統合などの機能を備えた、ソフ トウェア)の提供をしています。

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