各インジケータの変色の基板バイアス依存性を検証した結果をご紹介
基板バイアス印加側電極に、O2クリーニング用(No.1)および Arクリーニング用(No.22)のプラズマインジケータを設置し、 Arプラズマ処理を実施した技術データをご紹介いたします。 基板バイアス印加に応じて(0～50W)、イオンで変色しやすいArクリーニング用 インジケータの色差が大きく増加するのに対し、ラジカルで変色する O2クリーニング用インジケータは微増。 バイアスによりArイオンの照射量が増加していることを、Arクリーニング用 インジケータが検知していると考えられます。 【放電条件】 ■Ar gas ＝ 5Pa ■Power ＝ 80W ■Time ＝ 30sec ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社サクラクレパスは、大阪市中央区森ノ宮に本社を置く総合文具メーカーです。 創業当初から長年培った調色技術と、描画材料・筆記具・印刷インキの配合設計・工程設計で培われた界面化学分野の総合技術がサクラクレパスのコア技術です。 熱・光などのエネルギーや、滅菌・殺菌用ガスなど特定化合物との化学反応で変色するユニークなインキも開発しています。 また、チューブ類、マーカー・サインペン容器、ボールペン容器などのプラスチック成型・精密金属加工およびインキ充填も自社工場で行っています。