積層構造にて高品質単結晶を可能にする「多能性中間膜」をご紹介!
当社のコアテクノロジーについてご紹介いたします。 基板上に成膜する1層目材料との間に「多能性中間膜」を成膜する事で 1層目との格子定数を合わせ単結晶を形成。 また、1層目だけに留まらず、その上に成長させた複数の別材料層との 応力も感じ再度任意に変形する「動的格子マッチング」によって、多層で 高品質単結晶を形成することが可能です。 【特長】 ■格子ミスマッチを駆動力に双晶型マルテンサイト変態による 動的格子マッチングを生じることにより、最上部の機能膜を単結晶化させる ■基板上の欠陥を引きずる事なく高品質単結晶を成長させる事も可能 ■歩留やコスト改善にも大きく寄与出来る事が期待出来る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。