単結晶金属薄膜により特性が向上します
Gaianixx独自の多能性中間膜により、シリコン基板上に高品質な白金薄膜をエピタキシャル成長させ、(100) 単一配向の単結晶薄膜を実現しました。単結晶体は多結晶体と比較して、粒界がないことで電気的な欠陥が少なくなるため、電気抵抗が低く電気伝導性が高くなります。そのため半導体や電子デバイスの性能向上に寄与することが期待されます。白金薄膜は各種デバイスの下部電極として用いられるほか、温度センサなどにも応用されています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
■サイズ：Φ4、Φ6、Φ8インチ ■基板材料：Si ■Pt膜厚：100～200nm ■面方位： (100)、(111) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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詳細情報
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Pt(100)単一配向の単結晶薄膜を示すXRDピーク
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企業情報
株式会社Gaianixxは、2021年11月に会社設立した、東京大学発 テクノロジーベンチャー企業です。 東京大学内で研究開発を実施し、コア技術マルテンサイト・エピタキシー となる「多能性中間膜」と「動的格子マッチング」のメカニズムを解明。 この技術を今後も成長を加速させていく必要不可欠なデジタル社会への 貢献を目指し、産業に関わる企業との「競争」ではなく「共創」を実現し、 経済・産業全体の発展と革新のサポートをしてまいります。