Φ300ｍｍウエハー対応可能
卓上型のスピンナーです。 レジスト塗布機能の追加や、CtoC式の自動化も可能です。 Φ2インチ~φ6インチ用のWSP-32等、各種サイズに合わせた装置も製作可能です。
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基本情報
WSP-52仕様 本体フレーム：一般構造用鋼材+焼付塗装 カップ材質：SUS３０４ 試料台：デルリン その他指定対応可能 ワークセット：真空チャックテーブル方式 真空ポンプ ：付属別置き 真空圧力スイッチ付き モーター：ACサーボモーター 速度 Max ４０００rpm 但しアンバランス無き場合 *オプションにて１２０００rpmまで対応可能 安全装置：漏電遮断機能 ：過負荷警報機能 ：真空スイッチ ステップ：運転パターン 4品種登録可能 ：回転数、回転時間数、3段階制御 ＊オプションにてパターン数 ステップ数変更対応可能 電源：AC1００V 7A・50/60Hz
価格帯
納期
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用途／実績例
半導体製造用シリコンウエハーやガラス等のレジスト塗布工程、 マスクガラスの洗浄工程等で使用されています。
企業情報
半導体製造装置や液晶製造装置、医療・介護設備等、研究開発用の装置から生産用設備まで幅広く装置製造に携わっている会社です。「初めは小さな1歩から」をモットーにアイデアを形にしている会社です。