機能を限定した発光解析を行える低価格システム
他社製高機能製品と同等の検出器を備えながら、機能を限定することで低価格を実現
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基本情報
PEMS-1000シリーズ フォト・エミッション顕微鏡システムは、半導体デバイスやFPD等の動作に伴い発生する微弱発光現象を検出し、異常箇所を特定する故障解析装置です。設計・開発段階の状態確認・不良解析や不具合品の解析など、様々な場面での利用が可能です。 【主なアプリケーション】 ● ESD/EOS破壊箇所の確認 ● 耐圧不良、ラッチアップ現象確認 ● 入出力部及び内部回路破壊箇所の確認 ● FETの貫通電流 ● オプトデバイス等の発光波長によるエラー解析がオプションのスペクトルメーターでその場で判明 ● オプションのYAGレーザー薄膜加工装置を搭載することで解析と同時にマーキングやFIB等の物理解析のための前処理も可能 ● 正立型での裏面解析だけではなく、倒立型システムにも製作可能 既存プローバの条件次第では改造により搭載可能です。 他社製エミッション顕微鏡用プローバや各種治具製作も承ります。 その他、特殊用途、特殊仕様にも対応いたします。
価格帯
納期
用途／実績例
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詳細情報
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YAGレーザー薄膜加工装置搭載システム
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マクロレンズのイメージ
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両面プロービングが可能な倒立型システム
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発熱解析カメラでの検出画像
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他社製エミッション顕微鏡用プローバ
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他社製エミッション顕微鏡用裏面解析治具
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他社製エミッション顕微鏡用プローバおよび付け外し可能な裏面解析治具搭載時イメージ
企業情報
TNSシステムズ合同会社は、半導体・FPD関連の製造・検査装置を、 ご要望に合わせてカスタマイズしたシステムとしてお届けする会社です。 主力製品は半導体等の解析で使用される故障解析装置、試料表面の 薄膜を加工するYAGレーザー薄膜加工システム、プローバを主体とした 電気特性評価システムです。 研究機関や開発・解析・品質保証等の部署で使用され、高い評価を 受けています。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
![[EMS]エミッション顕微鏡法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/ebd/387108012/IPROS78188100613521420358.jpeg?w=280&h=280)
